激光退火加工是一种利用激光加热材料表面,将材料曝露于高温一段很长时间后,然后再慢慢冷却的热处理制程。这种工艺的主要目的是释放应力、增加材料延展性和韧性、产生特殊显微结构等。
其特点是能够调整基体组织、降低硬度、细化晶粒和消除内应力。近年来,激光退火技术也成为半导体加工行业的一种新工艺,可大幅提高集成电路的集成度。激光退火加工具有许多优点,包括:
加工精度高:激光退火加工可以实现高精度的加工,有效提高材料的机械性能和表面质量。
加工速度快:激光退火加工可以实现高速的加工过程,大大提高生产效率。
材料适用性广:激光退火加工可以适用于各种材料的加工,包括金属、非金属等。
环保性能高:激光退火加工不需要使用任何化学物质,因此对环境没有污染。